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Abtastvorrichtung zur hochdynamischen Bewegung einer reflektiven Terahertz-Optik
Norbert Zeike1.
Michael Katzschmann1.
Christoph Schäffel1.
Torsten May2.
ELMUG-Technologiekonferenz elmug4future, Suhl, 02.07.2013-03.07.2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Leibniz-Institut für Photonische Technologien (IPHT), Jena.
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