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Stress Controlled Piezoeletric ALN-MEMS-Resonators with Molybdenum Electrodes for GHz Applications
H. Mehner1. K. Brueckner1. D. Karolewski2. S. Michael2. M. A. Hein1. M. Hoffmann1.23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop (MME), 2012, in Proceedings, Session C.06, online: www.tu-ilmenau.de/fileadmin/media/mme2012/Proceedings/Session_C/C06_1642_MME2012_120622.pdf1Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano®, University of Technology Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article PRIMOS -
Stress Identification of Thin Membrane Structures by Dynamic Measuarments. Aix-en-Provence
S. Michael1. C. Schäffel1. S. Voigt2. R. Knechtel3.France: Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP). S. 106-109. ISBN: 978-2-35500-013-31IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Chemnitz. 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.Article -
Stressidentifikation dünner Membranstrukturen mittels dynamischer Messungen
S. Michael1. S. Voigt2. Dr. R. Knechtel3.10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 20.10.-21.10.2010, Chemnitz1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Chemnitz, Professur Mikrosystem- und Gerätetechnik, Chemnitz. 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.Article -
Strukturauswahl von Positioniersystemen durch Betrachtung der Funktionstopologie
T. Erbe1. R. Theska1. A. Frank2. F. Spiller2.VDI / VDE - Tagung 'Mechatronik 2009', 12. - 13. Mai 2009, Wiesloch1TU Ilmenau. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Superconducting Photosensitive Interface for Triggering RSFQ Circuits
P. Febvre. H. Töpfer1. Th. Ortlepp. B. Ebert. S. Badi. F. H. Uhlmann.IEEE Transactions on Applied Superconductivity, Vol. 17, No. 2, page 530-533, June 20071IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Superconducting photosensitive interfaces for triggering RSFQ circuits
P. Febvre. H. Töpfer1. Th. Ortlepp. B. Ebert. S. Badi. F. H. Uhlmann.26.08. - 01.09.2006,2006 Applied Superconductivity Conference, Seattle, USA1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
Superconductive Digital Magnetometers with Single-Flux-Quantum Electronics
P. Febvre1. Dr. T. Reich2.IEICE TRANSACTIONS on Electronics, Vol.E93-C, No.4, pp.445-452. Tokyo, Japan: Maruzen Co., Ltd1IMEP-LAHC, UMR CNRS 5130, University of Savoie, Le Bourget du Lac Cedex, France. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Superresolution measurement and simulation of mobile vector radio channels
U. Trautwein1. D. Hampicke. G. Sommerkorn. R. S. Thomä. A. Richter2.ISAP 2000, August 2000, Fukuoka, Japan1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Talk -
Supply sensitivity analysis for low-power time-domain temperature sensor in RFID application
Jun Tan1. Georg Gläser1.2017 IEEE International Conference on RFID Technology & Application (RFID-TA), Warsaw, Poland, 20-22 September 2017, pp. 196-201. DOI: doi.org/10.1109/RFID-TA.2017.80988821IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
SyEnA - Syntheseunterstützter Entwurf analoger Schaltungen
A. Graupner1. R. Jancke2. P. Jores3. J. Nowak4. R. Popp5.Newsletter edacentrum. S. 5-161ZMDi Zentrum Mikroelektronik Dresden AG (ZMD AG), Dresden, Germany. 2FhG IIS-EAS, Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS-EAS, Dresden, Germany. 3Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhöhe, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 5edacentrum e.V., Hannover, Germany.Article