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Scientific publications

Here you will find all IMMS publications since 1997: peer-reviewed conference papers / journal contributions, journal articles, talks and poster presentations.

1164 results
  • Testing of mechanical properties of AlGaN thin films by Eigenmode detection on Microeletromechanical Systems (MEMS)

    R. Grieseler1. K. Tonisch2. J. Klaus3. M. Stubenrauch2. S. Michael3. J. Pezoldt2. P. Schaaf2.
    Int. Conference on Metallurgical Coating and Thin Films, ICMCTF, San Diego, USA, 23.04.2012-27.04.2012
    1Ilmenau University of Technology, Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano and Institute of Materials Engineering Department Materials for Electronics. 2Ilmenau University of Technology, Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano Department of Nanotechnology.. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Talk
  • Testing of Ultra-sensitive materials for nanoelectromechanical systems - USENEMS

    R. Grieseler1. J. Klaus2. M. Stubenrauch3. K. Tonisch3. S. Michael2. J. Pezoldt3. P. Schaaf3.
    Lanzarote, Canary Islands, Spain: ECI Conference on Nanomechanical Testing in Materials Research and Development. (invited). 9.10.2011
    1Ilmenau University of Technology, Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano® and Institute of Materials Engineering, Department Materials for Electronics, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 3Ilmenau University of Technology, Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano®, Department of Nanotechnology.
    Talk
  • Testing symmetrical 2.4 GHz ZigBee Transceivers using unsymmetrical RF Measurement Equipment

    B. Bieske1. A. Rolapp1.
    9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices (SSD), 2012, Digital Object Identifier: 10.1109/SSD.2012.6197944, ieeexplore.ieee.org, IEEE Xplore Digital Library, E-ISBN 978-1-4673-1589-0
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Article
  • Testing symmetrical 2.4 GHz ZigBee Transceivers using unsymmetrical RF Measurement Equipment

    B. Bieske1. A. Rolapp1.
    9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices (SSD), 2012, Chemnitz, 20.03.2012-23.3.2012
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Talk
  • Testmethodik für integrierte optoelektronische Schaltungen

    K. Förster1.
    Clustermeeting OptoNet e.V., 2.11.2006, Ilmenau
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Talk
  • Testmethodik zur Untersuchung von geringen Leckströmen

    D. Kirsten1. A. Rolapp1. Dr. D. Nuernbergk1.
    4. GMM/GI/ITG-Fachtagung - ZuE (Zuverlässigkeit und Entwurf) 2010, 13.09.-15.09.2010, Wildbad Kreuth
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Talk
  • Testmethodik zur Untersuchung von geringen Leckströmen

    D. Kirsten1. A. Rolapp1. Dr. D. Nuernbergk1.
    4. GMM/GI/ITG-Fachtagung - ZuE (Zuverlässigkeit und Entwurf) 2010, 13.09.-15.09.2010, Wildbad Kreuth
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Article
  • Testmöglichkeiten auf Waferebene am IMMS

    M. Meister1.
    49. Mikroelektronik-Seminar, 05.05.2010, Erfurt
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Talk
  • Testschaltung für MEMS-Inertialsensoren-Auswerte-ASIC

    Roman Paris1. Peter Kornetzky1. Jenny Klaus1.
    28. GMM/GI/ITG Workshop – Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen, TuZ 2016, 06.03.2016 - 08.03.2016, Siegen, Germany
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau.
  • Teststrategien für HF-ICs vom Labor zur Produktion

    B. Bieske1. P. Witzenhausen1.
    18. ITG Testworkshop 'Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen', Titisee, 12.-14.03.2006
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Talk