Dichtungsanordnung für eine teilweise im Vakuum angeordnete Interferometerstrecke (Co-holder Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig)
Steffen Hesse.
Michael Katzschmann.
Hans-Ulrich Mohr.
Christoph Schäffel.
Jens Flügge.
DE 10 2019 117 636 B3
Magnetic 6D-direct drives with nanometre precisiongranted patentPatent co-holderhttps://register.dpma.de/DPMAregister