SPIE 2021
Nanopositioning and -fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to Ø 100 mm. Jaqueline Stauffenberg1, Christoph Reuter1, Ingo Ortlepp1, Mathias Holz2, Denis Dontsov3,Christoph Schäffel4, Jens-Peter Zöllner1, Ivo W. Rangelow1, Steffen Strehle1, and Eberhard Manske1.
1Technische Universität Ilmenau, 2nano analytik GmbH, 3SIOS Meßtechnik GmbH, 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH).
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Pressemitteilung,
iENA-Silbermedaille für Beobachter der Atome
Neues Regelungskonzept zur sub-nanometergenauen Positionierung
Pressemitteilung,
Ready for Take-off – Vertikalantrieb für die 3D-Nanofertigung vorgestellt
IMMS-Doktorand verteidigt Promotion im DFG-Graduiertenkolleg NanoFab
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung
Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. HuamanKontakt
Kontakt
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