951. Intelligentes Design: KI für EDA?   Georg Gläser, edaWorkshop23, 8. - 9. Mai 2023, Hannover, Germany  

  952. Intelligentes Power-Management drahtloser Sensorsysteme   T. Rossbach, Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.2011  

  953. Intelligentes Power-Management drahtloser Sensorsysteme   T. Rossbach, Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.2011  

  954. Interferometric controlled planar nanopositioning system with 100mm circular travel range   S. Hesse, C. Schäffel M. Katzschmann H.-J. Büchner Denver, USA: ASPE 26th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering. in Proceedings, CD-ROM  

  955. Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider   S. Hesse, C. Schäffel H-U. Mohr H.-J. Büchner Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:1  

  956. Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider   S. Hesse, C. Schäffel H-U. Mohr H.-J. Büchner Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.2011  

  957. Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS   C. Schäffel, S. Michael R. Paris A. Frank N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska U. Zeitner S. Beer Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. http://141.30.123.140/feinwerkwiki/index.php/5._Tagung_Feinwerktechnische_Konstruktion  

  958. Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS   C. Schäffel, S. Michael R. Paris A. Frank N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska U. Zeitner S. Beer. Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 03.11.2011  

  959. Interferometrically controlled, scalable x-y planar positioning stage concept   Ilko Rahneberg, Enrico Langlotz Denis Dontsov Steffen Hesse Jaqueline Stauffenberg Eberhard Manske Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing, 17 – 18 November 2021, Virtual