761. Interferometrically controlled, scalable x-y planar positioning stage concept   Ilko Rahneberg, Enrico Langlotz Denis Dontsov Steffen Hesse Jaqueline Stauffenberg Eberhard Manske Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing, 17 – 18 November 2021, Virtual  

  762. Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS   C. Schäffel, S. Michael R. Paris A. Frank N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska U. Zeitner S. Beer Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. http://141.30.123.140/feinwerkwiki/index.php/5._Tagung_Feinwerktechnische_Konstruktion  

  763. Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS   C. Schäffel, S. Michael R. Paris A. Frank N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska U. Zeitner S. Beer. Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 03.11.2011  

  764. Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider   S. Hesse, C. Schäffel H-U. Mohr H.-J. Büchner Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:1  

  765. Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider   S. Hesse, C. Schäffel H-U. Mohr H.-J. Büchner Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.2011  

  766. Interferometric controlled planar nanopositioning system with 100mm circular travel range   S. Hesse, C. Schäffel M. Katzschmann H.-J. Büchner Denver, USA: ASPE 26th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering. in Proceedings, CD-ROM  

  767. Intelligentes Power-Management drahtloser Sensorsysteme   T. Rossbach, Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.2011  

  768. Intelligentes Power-Management drahtloser Sensorsysteme   T. Rossbach, Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.2011  

  769. Intelligentes Design: KI für EDA?   Georg Gläser, edaWorkshop23, 8. - 9. Mai 2023, Hannover, Germany