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Referenz
571.
First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider
Referenz
572.
Realisierung eines PDICs für 12fach Blu-ray-Disc-RW Laufwerke mit Hilfe neuartiger effizienter Entwurfsmethodiken
Referenz
574.
Planar Magnetic Drives and Bearings for Multi-Axis Nanopositioning Machines with Large Travel Ranges.