Steffen Arnold, Physik Instrumente
„In der Kooperation mit dem Institut sind unsere Entwickler in ein Gebiet der magnetisch geführten Antriebstechnologie vorgedrungen, das Perspektiven eröffnet, Objekte mit bislang unerreichter Führungsgenauigkeit planar bzw. in 6D zu bewegen.“
„Das IMMS hat uns bei der Entwicklung eines magnetisch schwebenden Direktantriebs wesentliche Impulse geliefert. Mit solchen Lösungen sollen künftig nanometergenau und partikelfrei Halbleiter, Life-Science- und Biotech-Produkte hergestellt werden. Als Industriepartner freuen wir uns ganz besonders, dass das Institut mit seinen Arbeiten für den Innovationspreis Thüringen 2012 nominiert wurde. Die neuartigen Konzepte zur Antriebsstruktur des magnetisch geführten 6D-Antriebs, zum 6D-Sensorsystem sowie zum Regelungsalgorithmus für die hochpräzise Steuerung des Systems sind die Basis für künftige kundenspezifische Produktentwicklungen.
In der Kooperation mit dem Institut sind unsere Entwickler in ein Gebiet der magnetisch geführten Antriebstechnologie vorgedrungen, das Perspektiven eröffnet, Objekte mit bislang unerreichter Führungsgenauigkeit planar bzw. in 6D zu bewegen. Aufgrund seiner einzigartigen Expertise im Bereich der magnetisch geführten Antriebstechnologie ist es der ideale Partner für diese Entwicklung. Wir freuen uns auf weitere gemeinsame Arbeiten auf diesem Gebiet!“
Die Referenz bezieht sich auf:
Dienstleistung
Entwicklung mechatronischer Systeme
Wir entwickeln Aktorsysteme, Steuerungen und Regelungen als eingebettete Lösungen nach Kundenspezifikation mit höchsten Anforderungen an Präzision, Dynamik, verfügbaren Bauraum, Performance und Effizienz.
Forschungsfeld
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision
Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.
Leitanwendung
nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten
Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
Projekt
Mag6D
Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau.
Pressemitteilung
IMMS für den Innovationspreis Thüringen 2012 nominiert
Mit magnetisch schwebendem Direktantrieb sollen künftig nanometergenau und partikelfrei Halbleiter, Life-Science- und Biotech-Produkte hergestellt werden.
Kontakt
Kontakt
Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
ludwig.herzog(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 60
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.