Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1163 Ergebnisse
-
Interferometrically controlled, scalable x-y planar positioning stage concept
Ilko Rahneberg1. Enrico Langlotz1. Denis Dontsov1. Steffen Hesse2. Jaqueline Stauffenberg3. Eberhard Manske3.Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing, 17 – 18 November 2021, Virtual1SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3Technische Universität Ilmenau, Production and Precision Measurement Technology, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany. -
Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer5.Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 141.30.123.140/feinwerkwiki/index.php/5._Tagung_Feinwerktechnische_Konstruktion1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Fachartikel -
Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer. 5.Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 03.11.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Vortrag -
Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:11IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Fachartikel SFB622 -
Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Vortrag -
Interferometric controlled planar nanopositioning system with 100mm circular travel range
S. Hesse1. C. Schäffel1. M. Katzschmann1. H. -J. Büchner2.Denver, USA: ASPE 26th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering. in Proceedings, CD-ROM1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Fachartikel -
Intelligentes Power-Management drahtloser Sensorsysteme
T. Rossbach1.Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Intelligentes Power-Management drahtloser Sensorsysteme
T. Rossbach1.Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Intelligentes Design: KI für EDA?
Georg Gläser1.edaWorkshop23, 8. - 9. Mai 2023, Hannover, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau, Germany. -
Intelligente Signalanalyse- und Assistenzsysteme mit KI in der Produktion
Peter Hauschild1. Tino Hutschenreuther2.Workshop zum Themenschwerpunkt „KI-Geschäftsmodelle“ mit dem Thema „KI verändert Produktionsprozesse“, 26. März 2024, ZAKI, Zentrum für Angewandte künstliche Intelligenz, Jena1Fraunhofer Institut für Digitale Medientechnologie IDMT, Leistungszentrum InSignA. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.