Publikationen

Investigations of metal systems in a silicon ceramic composite substrate for electrical and thermal contacts as well as associated mounting aspects

M. Fischer¹. T. Welker¹. B. Leistritz². S. Gropp¹. C. Schäffel². M. Hoffmann¹. J. Müller¹.

Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies, Additional Conferences (Device Packaging, HiTEC, HiTEN, & CICMT): May 2016, Vol. 2016, No. CICMT, pp. 000107-000110, DOI: dx.doi.org/10.4071/2016CICMT-WA22

¹Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Ilmenau, Germany. ²IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany.

Begutachtete Veröffentlichung MUSIK

Investigation of thermal and non-linear effects on the performance of the power amplifier - BAW filter - chain in a LTE transmitter

Uwe Stehr¹. J. Stegner¹. V. Chauhan². V. Silva². R. Weigel². A. Hagelauer². Astrid Frank³. Steffen Michael³. M. A. Hein¹.

2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2018, 22-25 October 2018, Kobe, Japan

¹RF and Microwave Research Group, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. ²Institute for Electronics Engineering, University of Erlangen-Nuremberg, 91058 Erlangen, Germany. ³IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

Vortrag und Posterpräsentation MUSIK

Investigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor

Davi Anders Brasil¹. Steffen Hesse¹. Michael Katzschmann¹. Ludwig Herzog¹. Thomas Fröhlich². Thomas Kissinger².

20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), Sendai, Japan, October 23-26, 2024

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. ²Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete Veröffentlichung NanoFab

Investigation of detectors for optical pick-up systems for DVD applications

J. Klein¹. St. Lange¹.

session of the conference SENOR 2003, Mai 2003

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Posterpräsentation

Interferometrically controlled, scalable x-y planar positioning stage concept

Ilko Rahneberg¹. Enrico Langlotz¹. Denis Dontsov¹. Steffen Hesse². Jaqueline Stauffenberg³. Eberhard Manske³.

Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing, 17 – 18 November 2021, Virtual

¹SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. ²IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ³Technische Universität Ilmenau, Production and Precision Measurement Technology, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Vortrag und Posterpräsentation

Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS

C. Schäffel¹. S. Michael¹. R. Paris¹. A. Frank¹. N. Zeike¹. K. Gastinger². M. Kujawinska³. U. Zeitner⁴. S. Beer⁵.

Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 141.30.123.140/feinwerkwiki/index.php/5._Tagung_Feinwerktechnische_Konstruktion

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. ²NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. ³Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. ⁴Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. ⁵CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.

Fachartikel

Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS

C. Schäffel¹. S. Michael¹. R. Paris¹. A. Frank¹. N. Zeike¹. K. Gastinger². M. Kujawinska³. U. Zeitner⁴. S. Beer. ⁵.

Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 03.11.2011

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. ²NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. ³Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. ⁴Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. ⁵CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.

Vortrag

Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider

S. Hesse¹. C. Schäffel¹. H-U. Mohr¹. H. -J. Büchner².

Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:1

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.

Fachartikel SFB622

Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider

S. Hesse¹. C. Schäffel¹. H-U. Mohr¹. H. -J. Büchner².

Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.2011

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.

Vortrag

Interferometric controlled planar nanopositioning system with 100mm circular travel range

S. Hesse¹. C. Schäffel¹. M. Katzschmann¹. H. -J. Büchner².

Denver, USA: ASPE 26th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering. in Proceedings, CD-ROM

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.

Fachartikel