Current Publication
Two-dimensional electron gas based actuation of piezoelectric AlGaN/GaN microelectromechanical resonators
K. Brueckner1.
F. Niebelschuetz1.
K. Tonisch1.
St. Michael2.
A. Dadgar3.
A. Krost3.
V. Cimalla4.
O. Ambacher4.
R. Stephan1.
M.A. Hein1.
APPLIED PHYSICS - LETTERS 93, 173504 _2008
1Technische Universität Ilmenau, Germany.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
3Otto-von-Guericke Universität Magdeburg, Germany.
4Fraunhofer Institute for Applied Solid-State Physics, Freiburg, Germany.
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