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Testschaltung für MEMS-Inertialsensoren-Auswerte-ASIC
Roman Paris1.
Peter Kornetzky1.
Jenny Klaus1.
28. GMM/GI/ITG Workshop – Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen, TuZ 2016, 06.03.2016 - 08.03.2016, Siegen, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau.