Planare hochdynamische Direktantriebe für den Sub-µm-Bereich mit großen Verfahrwegen

N. Zeike¹. C. Schäffel¹. F. Spiller¹.

ETG-Kongress 2009, Direktantriebe in Produktionsmaschinen und Industrieanlagen - Generatoren und Antriebe in regenerativen Kraftwerken, 27. - 28. Oktober 2009, Düsseldorf

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

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