Current Publication
Planar motor concept for positioning with nanometer position uncertainty
St. Hesse1.
C. Schäffel1.
M. Katzschmann1.
T. Maass1.
H.-U. Mohr1.
8th International Conference euspen 2008, 18.-22. Mai 2008, Zurich, Switzerland
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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