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Nanopositioniersysteme grosser Bewegungsbereiche

St. Hesse1.

Industriekolloquium des Sonderforschungsbereiches 'Nanopositionier- und Nanomessmaschinen', Proceedings S. 150-154, 08. Mai 2008, Ilmenau, Germany

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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