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Modulare Präzisionsantriebe für MEMS und Laserfertigung
O. Mollenhauer2.
F. Spiller1.
S. Pause3.
D. Rode.
Statusseminars zum Verbundprojekt 'MODAN', VDE / VDI - Tagung 'Elektrisch - mechanische Antriebssysteme', Fulda, 6./7.10.2004
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TETRA GmbH.
3LLT Applikation GmbH.
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