Current Publication
Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS
C. Schäffel1.
S. Michael1.
R. Paris1.
A. Frank1.
N. Zeike1.
K. Gastinger2.
M. Kujawinska3.
U. Zeitner4.
S. Beer.5.
Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 03.11.2011
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany.
2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway.
3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland.
4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany.
5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.
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