Entwurf und Einsatzerfahrungen eines flexibel konfigurierbaren PXI-Testsystems für on-wafer Messungen im Halbleiterbereich

I. Gryl¹. G. Kropp¹. R. Paris¹.

22nd ITG/GI/GMM Workshop 'Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen' (TuZ 2010), 28.02.-02.03.2010, Paderborn

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

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