Current Publication
Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung
Stefan Hampl1.
Bianca Leistritz1.
Benjamin Saft1.
Eckhard Hennig1.
Martin Hoffmann2.
Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, Aachen, 14.10.2013-16.10.2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Technische Universität Ilmenau IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme Ilmenau.
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