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Presseinformationen

Best Paper Award Runner-Up für MEMS-ASIC-Gesamtdesignmethodik

Realisierter Beschleunigungssensor validiert die neue Methode

Das IMMS wurde am 30. Juni 2016 auf der Konferenz “13th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design”, der SMACD 2016 in Sevilla, Spanien, für den Beitrag “Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor” mit dem Best Paper Award als Runner-Up ausgezeichnet. Die Arbeit ging aus dem 2015 abgeschlossenen Projekt MEMS2015 hervor. Dort hatte das IMMS Ansätze entwickelt, um den Entwurfsprozess der mechanischen und elektronischen Bauteile von MEMS zu verbinden und zu harmonisieren. Dank der erarbeiteten neuartigen Gesamtentwurfsmethodik können MEMS als Gesamtsystem simuliert und verifiziert und somit Fehler frühzeitig erkannt und behoben werden.

Ein wesentlicher Bestandteil des Ansatzes ist ein Design-Tool zum rechnergestützten Entwurf von elektromechanischen Sensoren. Diese Software wurde zunächst für eindimensionale Beschleunigungssensoren in der SOI-Technologie XM-SC der X-FAB AG erstellt. Das Werkzeug berechnet auf der Basis eines am IMMS entwickelten Algorithmus automatisch verschiedene Mechanik-Designmöglichkeiten gemäß kundenspezifischer Anforderungen. Darüber hinaus stellt das Tool dem Anwender Sensormodelle zur Verfügung, die in etablierte Entwurfswerkzeuge integriert werden können, und generiert die für die Sensorfertigung notwendigen Maskenlayouts.

Für die Validierung dieser neuen Methodik und des neuen Tools hat das IMMS einen Beschleunigungssensor samt Präzisions-Auswertelektronik mit dem neuen Vorgehen in dem neuen Werkzeug entworfen, fertigen lassen und charakterisiert. Auf dieser Basis wird das Design-Tool im 2015 gestarteten Projekt RoMulus von eindimensionalen auf zwei- und dreidimensionale Inertialsensoren ausgebaut.

Prämierter Beitrag: Dr. Jenny Klaus, Roman Paris, Prof. Dr. Ralf Sommer: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor.

Förderung

Das Projekt MEMS2015 wurde vom Bundesministerium für Bildung und Forschung unter dem Kennzeichen 16M3093 im Förderprogramm IKT 2020 gefördert.

Förderung

Das Projekt RoMulus wurde unter dem Förderkennzeichen 16ES0362 im Förderprogramm IKT 2020 durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung gefördert.

Zugehörige Inhalte

Projekt

RoMulus

UHF-RFID-Chip zum batterielosen Betrieb kommerzieller Sensoren in I4.0-Anwendungen und systematischer Entwurf von Multisensorik-Systemen

Projekt

MEMS2015

Ein am IMMS entwickeltes Entwurfswerkzeug generiert Mechanik-Designs automatisch und ermöglicht MEMS-Gesamtsystemsimulationen.

Veranstaltung,

Analog 2020

Zwei Vorträge auf der 17. ITG/GMM-Fachtagung Analog 2020, Analoge Schaltungen: Schlüsselsysteme für Automotive, IoT und zukünftige drahtlose…

Veranstaltung,

TuZ 2020

32. GI/GMM/ITG-Workshop Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen

Veranstaltung,

elmug4future 2019

Zwei Vorträge auf der Technologiekonferenz zu Condition, Health and Quality Monitoring – Sensors, Methods and Applications

Veranstaltung,

SMACD + PRIME 2019

5 Vorträge auf der International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design und einen…

Auszeichnung

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

Kontakt

Kontakt

Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans

Leiterin Unternehmenskommunikation

beate.hoevelmans(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 13

Beate Hövelmans ist verantwortlich für die Text- und Bildredaktion dieser Webseite, für die Social-Media-Präsenz des IMMS auf LinkedIn und YouTube, die Jahresberichte, für die Pressearbeit mit Regional- und Fachmedien und weitere Kommunikationsformate des IMMS. Sie stellt Ihnen Texte, Bilder und Videomaterial für Ihre Berichterstattung zum IMMS bereit, vermittelt Kontakte für Interviews und ist Ansprechpartnerin für Veranstaltungen.

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