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592.
Auf den Punkt gebracht - Nahezu reibungsfreies Nanopositioniersystem mit großem Verfahrbereich
Referenz
593.
Design & Charakterisierung von HF-IPs verschiedener Technologien unter Nutzung modularer PXI-Testsysteme bis 6GHz
Referenz
594.
Entwicklung eines magnetische Direktantriebes für große Verfahrbereiche mit sub-µm-Genauigkeit