Aktuelle Publikation
Entwicklung eines magnetische Direktantriebes für große Verfahrbereiche mit sub-µm-Genauigkeit
H.-U. Mohr1.
Dr. F. Spiller1.
N. Zeike1.
Internationales Forum Mechatronik 2010, 03.11.-04.11.2010, Winterthur, Schweiz
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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