Forschungsfeld Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision: Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.
Leitanwendung nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten: Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
Promotionen: Am IMMS gibt es verschiedene Wege zur Promotion. Aktuell gibt es eine umfassende Betreuung und Finanzierung mit vollem Fokus auf das Promotionsvorhaben in einem Graduiertenkolleg und in einer internen Forschungsgruppe.
