1541. First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider   S. Hesse, H.-J. Büchner Prof. Dr. G. Jäger Dr. Ch. Schäffel H. U. Mohr B. Leistritz 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande  

  1542. Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS   Dr. Ch. Schäffel, S. Michael B. Leistritz M. Katzschmann N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska M. Jozwik S. Beer 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.2010-04.06.2010, Delft, Niederlanden  

  1543. First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider   S. Hesse, H.-J. Büchner Prof. Dr. G. Jäger Dr. Ch. Schäffel H.-U. Mohr B. Leistritz 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande  

  1544. Ein Fotodetektor-IC für Blu-ray-Disc-Laufwerke mit 12-facher Schreib- und Lesegeschwindigkeit   Dr. E. Hennig, 5. Silicon Saxony Day, Mikroelektronik-Forum, 19.05.2010, Dresden  

  1545. Konvergenz von Navigation und Sensorik - Quelle neuer Wertschöpfung   Dr. W. Sinn, 5. Silicon Saxony Day, Workshop, 19.05.2010, Dresden  

  1546. BASe-Kit - Ein mobiles Messsystem für die Gebäudeautomation, BASe-Kit - A mobile measurement system for building automation   S. Engelhardt, E. Chervakova W. Kattanek T. Rossbach Dr. A. Schreiber M. Götze SENSOR+TEST 2010, 18.-20.05.2010, 17. Internationale Fachmesse für Sensorik, Mess- und Prüftechnik  

  1547. EDADB - eine Infrastruktur zur Dokumentation und Wiederverwendung von Schaltungstopologien   Dr. V. Boos, 18.05.-19.05.2010, Dresden, Proceedings DASS 2010  

  1548. EDADB - eine Infrastruktur zur Dokumentation und Wiederverwendung von Schaltungstopologien   Dr. V. Boos, DASS 2010, 18.05.-19.05.2010, Dresden  

  1549. SystemC (-AMS) zur frühzeitigen Validierung und Optimierung des Systemkonzeptes komplexer Smart-Sensor-Systeme   G. Nitsche, K. Agla 5. Silicon Saxony Day, 18.05-19.05.2010, Dresden  

  1550. Testmöglichkeiten auf Waferebene am IMMS   M. Meister, 49. Mikroelektronik-Seminar, 05.05.2010, Erfurt