Dr. Gisbert Hölzer, X-FAB

„MEMS-Technologien sind weltweit stark gefragt, daher bauen wir derzeit unsere Fertigungskapazitäten für dieses hochinnovative Geschäftsfeld aus. Wir erweitern und stärken deshalb auch unsere Angebote für einen Design-Support im Bereich MEMS, um Kunden die optimale Unterstützung beim Entwurf von MEMS-Elementen bieten zu können. Dazu planen wir, zukünftig auch für MEMS-Technologien Process Design Kits (PDK) bereitzustellen. Ein wichtiger Aspekt zum Erreichen dieses Ziels ist für uns die enge Kooperation mit dem IMMS im Forschungsprojekt MEMS2015.

Das IMMS hat zum einen Teststrukturen entworfen, mit denen sich die Materialparameter bestimmen lassen, die die Genauigkeit der Simulationen von MEMS-Strukturen verbessern. Zum anderen hat das IMMS einen Design-Flow für Beschleunigungssensoren entwickelt, der für den Entwurf und die Simulation von Sensoren mit unterschiedlichen Spezifikationen verwendet werden kann und dazu bereits erste Bausteine eines MEMS-PDK nutzt. Die Sensoren wurden mit einer Foundry-Technologie der X-FAB gefertigt und anschließend im IMMS vermessen. Die Ergebnisse fließen in die MEMS-Technologieentwicklung der X-FAB ein. Das IMMS hat in vielen gemeinsamen Diskussionsrunden neue Ideen u.a. für die Layoutverifikation bei MEMS entwickelt.

Das IMMS unterstützt unsere „More-than-Moore“-Roadmap bereits seit Jahren als wichtigster Forschungspartner und hat im Projekt MEMS2015 sein Know-how in der ASIC-Designmethodik souverän mit der Mikromechanik zusammengeführt. Über das Fachliche und über die vertrauensvolle und reibungslose Zusammenarbeit hinaus möchten wir auch künftig jene Kompetenzen des IMMS nutzen, mit denen es öffentlich geförderte Projekte auf den Weg bringt. Wir rechnen damit, die erfolgreiche Kooperation im Bereich MEMS-Entwicklung in einem weiteren gemeinsam beantragten Forschungsprojekt fortsetzen zu können.“