Prof. Dr. Eberhard Manske, TU Ilmenau
„Durch seine Expertise auf dem Gebiet der Präzisionsantriebssysteme leistet das IMMS einen äußerst wertvollen Beitrag zu unseren Forschungsarbeiten. Laut der DFG-Gutachter wird ’Der Weltstand auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomesstechnik (...) von Ilmenau mitbestimmt.‘“
„Der durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) an der Technischen Universität Ilmenau eingerichtete Sonderforschungsbereich SFB 622 ’Nanopositionier- und Nanomessmaschinen‘ verfolgt das Ziel, die wissenschaftlich-technischen Grundlagen zum Entwurf und zur Realisierung hochpräziser Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM-Maschinen) zu erarbeiten. Diese ermöglichen die Positionierung, Messung, Antastung, Modifizierung und Manipulation von dreidimensionalen Objekten mit Nanometerpräzision.
Durch seine Expertise auf dem Gebiet der Präzisionsantriebssysteme leistet das IMMS einen äußerst wertvollen Beitrag zu unseren Forschungsarbeiten. Besonders im Bereich luftgeführter NMP-Systeme eröffnen sich neue Lösungsfelder, die über die Möglichkeiten konventioneller Systeme weit hinausgehen. Die am IMMS erzielten Ergebnisse belegen eindrucksvoll die Fähigkeit der entwickelten Direktantriebssysteme, ’bis auf’s Nanometer‘ zu positionieren und bieten beste Voraussetzungen für die Anwendung in großen Verfahrbereichen. Laut der DFG-Gutachter des SFB 622 wird ’Der Weltstand auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomesstechnik (...) von Ilmenau mitbestimmt.‘“
Die Referenz bezieht sich auf:
Dienstleistung
Entwicklung mechatronischer Systeme
Wir entwickeln Aktorsysteme, Steuerungen und Regelungen als eingebettete Lösungen nach Kundenspezifikation mit höchsten Anforderungen an Präzision, Dynamik, verfügbaren Bauraum, Performance und Effizienz.
Forschungsfeld
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision
Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.
Leitanwendung
nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten
Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
Projekt
SFB622
Das IMMS hat neuartige Antriebsstrukturen für die nanometerpräzise Bewegung von Objekten über große Fahrbereiche entwickelt.
Kontakt
Kontakt
Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
ludwig.herzog(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 60
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.