Micromechanical, vertical comb-drive-structures for the construction of an electrostatic energy harvester

Stefan Hampl^1,2. Bianca Leistritz¹. Benjamin Saft¹. Eckhard Hennig¹. Martin Hoffmann².

Energy self-sufficient Sensors, 2014, 7th GMM-Workshop - Proceedings of , Pages 14 – 19, Print ISBN: 978-3-8007-3581-5, VDE Verlag GmbH

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Germany, Ilmenau. ²Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme, Germany, Ilmenau.

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Projekt

GreenSense

Für das Beispiel Bioanalytik sind Lösungen für energieeffiziente multiparametrische RFID-Mikrosensorik und deren energieautarken Betrieb entstanden.

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