Aktuelle Publikation
Micromechanical, vertical comb-drive-structures for the construction of an electrostatic energy harvester
Stefan Hampl1,2, Bianca Leistritz1, Benjamin Saft1, Eckhard Hennig1, Martin Hoffmann2
2014 7th GMM-Workshop on Energy self-sufficient Sensors, , Magdeburg, Germany, Seite 14-19, ISBN 978-3-8007-3581-5
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies (IMN) MacroNano®, Micromechanical Systems Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 7, 98693 Ilmenau, Germany
Zugehörige Inhalte
Projekt
GreenSense
Für das Beispiel Bioanalytik sind Lösungen für energieeffiziente multiparametrische RFID-Mikrosensorik und deren energieautarken Betrieb entstanden.
Auszeichnung