Aktuelle Publikation
Investigation of long-term distance measurement repeatability in a large-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1.
Michael Katzschmann1.
Steffen Hesse1.
Ludwig Herzog1.
Eberhard Manske2.
Thomas Fröhlich2.
Thomas Kissinger2.
2026 Meas. Sci. Technol. 37 245005, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ae7622
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.
2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany.
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung