Aktuelle Publikation
Influence of temperature distribution on behavior, modeling, and reliability of BAW resonators
Andreas Tag1, Robert Weigel1, Amelie Hagelauer1, B. Bader2, C. Huck2, M. Pitschi2, K. Wagner2, Dominik Karolewski3, Christoph Schäffel3
2014 IEEE International Reliability Physics Symposium, , Waikoloa, HI, USA, pp. 5C.5.1-5C.5.7, DOI: dx.doi.org/10.1109/IRPS.2014.6860669
1Friedrich Alexander University Erlangen-Nuremberg, Institute for Electronics Engineering, Cauerstr. 7, 91058 Erlangen, Germany, 2TDK Corporation, Advanced Development, Anzingerstr. 13, 81617 Munich, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
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Projekt
MUSIK
Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.
Auszeichnung