Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1226 Ergebnisse
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Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1, Bianca Leistritz1, Steffen Hesse1, Ingo Ortlepp2, G. Slotta3, Christoph Schäffel1Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, , Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany, 3AeroLas GmbH, Grimmerweg 6, 82008 Unterhaching, Germany -
Development of a vertical wafer stage for high vacuum applications
E. Beckert1.15th Annual Meeting American Society of Precision Engineers (ASPE), Scottsdale, Arizona, USA, Oktober 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Development of a digital SQUID magnetometer for widely varying fields in urban environment
T. Reich1.Oktober 2009, Technische Universität Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Development of a bandwidth measurement for photo diodes
M. Meister1.X-FAB Workshop 'Process Development & Characterisation Workshop on Innovation', 15.-16.11.2006, Luisenthal1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Development and validation of a simplified coil model for CFD simulation of a nano-positioning planar drive system
Ina Naujokat1, Ludwig Herzog1, Steffen Hesse1, Parastoo Salimitari1Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, , Cranfield University, United Kingdom, Proceedings: https://www.euspen.eu/1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Development of a vertical wafer stage for high vakuum applications
E. Beckert1. A. Hoffmann1. E. Saffert2.Micro- and Nano-Engineering 2000, September 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Vortrag -
Developing and Testing RF modules in CMOS for ISM Bands using PXI platform
Björn Bieske1. Klaus Heinrich2.Transactions on Systems, Signal & Devices (TSSD), Vol. 8, No. 4, pp. 1-131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.Fachartikel -
Developing and Testing RF modules in CMOS for ISM and SRD Bands using PXI platform
B. Bieske1. K. Heinrich2.9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices (SSD), 2012, Chemnitz, 20.03.2012-23.3.20121IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.Vortrag -
Developing and Testing RF modules in CMOS for ISM and SRD Bands using PXI platform
B. Bieske1. K. Heinrich2.9th International Multi-Conference on Systems, Signals and Devices (SSD), 2012, Digital Object Identifier: 10.1109/SSD.2012.6197945, ieeexplore.ieee.org, IEEE Xplore Digital Library, E-ISBN 978-1-4673-1589-01IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.Fachartikel -
Determination of yaw angle of mirror origin in a 6-DOF nanopositioning stage
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Kissinger2, Thomas Fröhlich2International Scientific Symposium on World Interferometry Day 2026, , Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany