Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1175 Ergebnisse
-
Kick-off-Meeting zum Projekt 'ANASTASIA'
R. Izak1. St. Lange1. F. Rößler1.München, März 20011IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
KI für energieeffiziente Sensorsysteme – Effiziente Überwachung von Maschinen und Anlagen
Sebastian Uziel1.elmug4future, Technologiekonferenz, 27. - 28. September 2022, Friedrichroda, Thüringen1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Kamera auf Bestellung
J. Pospiech1. R. Holzapfel1. H. Töpfer2. R. Peukert2. K. Nebel1.(1) AVT GmbH Ilmenau, (2) Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH, S&I-Kompendium 2009, Videoüberwachung, Alarm- & Sicherheitssysteme, S. 208, Januar 2009, www.sui24.net1AVT GmbH Ilmenau. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Josephson Junction Electronics: Trends and Perspectives
H. Töpfer1.25.09.2003, 2 nd International FLUXONICS RSFQ Design Workshop, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Investigations to reduce positioning uncertainty of direct drive systems with aerostatic guiding
St. Hesse1. T. Maaß1. H. -U. Mohr1. Ch. Schäffel1.6th Euspen International Conference, 28.05-01.06.2006, Baden bei Wien1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Investigations to reduce positioning uncertainty of direct drive systems with aerostatic guiding
St. Hesse1. T. Maaß1. H. -U. Mohr1. Ch. Schäffel1.6th Euspen International Conference, 28.05-01.06.2006, Baden bei Wien1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Investigations on Wafer-Level Testing for Accelerometers by Harmonic Response Measurements
St. Michael1. S. Hering2. M. Katzschmann1.MEMUNITY-Workshop 'Testing MEMS at Wafer-Level', 01.03.2006, Halle1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2X-FAB AG.Vortrag -
Investigations on tip-based large area nanofabrication and nanometrology using a planar nanopositioning machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1. Johannes Belkner1. Denis Dontsov2. Ludwig Herzog3. Steffen Hesse3. Ivo W Rangelow1,4. Ingo Ortlepp1. Thomas Kissinger1. Eberhard Manske1.2024 Meas. Sci. Technol. 35 085011, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ad46681Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Department for Mechanical Engineering, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 1, 98693 Ilmenau, Germany. -
Investigations on the Tracking Control and Performance of a Long Stroke Vertical Nanopositioning Drive
Alex S. Huaman1. Stephan Gorges1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Thomas Fröhlich2. Eberhard Manske2.Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology) – 22nd International Conference & Exhibition, 30 May – 3 June 2022, Geneva, Switzerland1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. -
Investigations on the positioning accuracy of the Nano Fabrication Machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1. Ingo Ortlepp2. Ulrike Blumröder2. Denis Dontsov3. Christoph Schäffel4. Mathias Holz5. Ivo W. Rangelow6. Eberhard Manske2.tm - Technisches Messen. 2021, 88(9): 581-589. DOI: doi.org/10.1515/teme-2021-00791Technische Universität Ilmenau, Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 5nano analytik GmbH, Ilmenau, Germany. 6Technische Universität Ilmenau, Nanoscale systems Group, Ilmenau, Germany.