Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1226 Ergebnisse
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Development of a vertical wafer stage for high vakuum applications
E. Beckert1. A. Hoffmann1. E. Saffert2.Micro- and Nano-Engineering 2000, September 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Vortrag -
Development and validation of a simplified coil model for CFD simulation of a nano-positioning planar drive system
Ina Naujokat1, Ludwig Herzog1, Steffen Hesse1, Parastoo Salimitari1Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, , Cranfield University, United Kingdom, Proceedings: https://www.euspen.eu/1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Development of a bandwidth measurement for photo diodes
M. Meister1.X-FAB Workshop 'Process Development & Characterisation Workshop on Innovation', 15.-16.11.2006, Luisenthal1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Development of a digital SQUID magnetometer for widely varying fields in urban environment
T. Reich1.Oktober 2009, Technische Universität Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Development of a vertical wafer stage for high vacuum applications
E. Beckert1.15th Annual Meeting American Society of Precision Engineers (ASPE), Scottsdale, Arizona, USA, Oktober 20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1, Bianca Leistritz1, Steffen Hesse1, Ingo Ortlepp2, G. Slotta3, Christoph Schäffel1Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, , Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany, 3AeroLas GmbH, Grimmerweg 6, 82008 Unterhaching, Germany -
Development of real-time embedded Linux applications from MATLAB/Simulink models
M. Braczek1. H. Töpfer1. W. Kattanek1. Ch. Schröder1.In: 48. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, S. 709-710. Technische Universität Ilmenau, 20031IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Development of realtime embedded Linux applications from MATLAB/Simulink models
M. Braczek1. H. Töpfer1. W. Kattanek1. Ch. Schröder1.49. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 24.9.2003, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
DfM/DfY - Design for Manufacturability und Design for Yield Tutorial
R. Sommer1.1. GMM/GI/ITG-Fachtagung, Tutorial auf der 'Zuverlässigkeit und Entwurf 2007', März 2007, München1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
DI-Meta-X: Bridging the Gap with Meta Formats
Georg Gläser1, Melanie Wilhelm2, Robert Fischbach3, Detlef Bille4, Jan Mehner5, Peter Kreutziger6Auftaktveranstaltung Chipdesign Germany, , Hannover, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2X-FAB Global Services GmbH, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany, 3Technische Universität Dresden, 1062 Dresden, Germany, 4EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, Technologie-Campus 4, 9126 Chemnitz, Germany, 5i-ROM GmbH, Hauptstraße 130, 9221 Neukirchen bei Chemnitz, Germany, 6AMAC ASIC- und Mikrosensoranwendung Chemnitz GmbH, Kopernikusstraße 16, 9117 Chemnitz, Germany