Dienstleistung MEMS – Simulation, Design und Test: Wir entwickeln als Designhouse für die offene Technologieplattform XMB-10 von X-FAB Beschleunigungssensoren entsprechend Ihrer Spezifikation. Beim Test von MEMS fokussieren wir uns auf die vibrometrische Untersuchung von Sensoren.
E. Kallenbach,
P. Maißer
J. Lückel
E. Saffert
Ch. Schäffel
H. Freudenberg
W. Kuhlbusch
ASPE, Annual Meeting, Norfolk, Virginia, Proc. P 507-510, Oktober 1997