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  1601. Annual Report 2021  
Annual Report 2021 ANNUAL REPORT 2021 2 Contents >>Integrated sensor systems 3 Foreword 101 Magnetic 6D direct drives with >>Distributed 5 Obituary Dr.-Ing. Christoph Schäffel nanometre precision measurement + 6 25 years of IMMS 102 Highlights of 2021 in our research test systems on Magnetic 6D direct drives with >>Mag6D nm 31 Voices from industry and nanometre precision direct drives academia on current projects 107 Investigations on tracking control of > Contents 39 Working hand in hand with the vertical motion systems for nano- *…  
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  1602. Jahresbericht 2020, Überblick zu Fachartikeln  
Jahresbericht 2020, Überblick zu Fachartikeln  
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  1603. 2020 Jahresbericht | Fachartikel sUSe (en/de)  
2020 Jahresbericht | Fachartikel sUSe (en/de): Skalierbare Ultraschall- und Volumenstrom-Sensorplattform für die Optimierung der Energieeffizienz  
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  1604. 2020 Jahresbericht | Fachartikel NanoFab (en/de)  
2020 Jahresbericht | Fachartikel NanoFab (en/de): Nanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik  
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  1605. 2020 Jahresbericht | Fachartikel MEDIKIT (en/de)  
2020 Jahresbericht | Fachartikel MEDIKIT (en/de): Lock-In-Imager für die zeitaufgelöste Fluoreszenzbildgebung mit Europium  
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  1606. Jahresbericht 2020  
Jahresbericht 2020 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH) Themenüberblick: Lock-In-Imager für die zeitaufgelöste Fluoreszenzbildgebung mit Europium. Maschinelles Lernen zur automatisierten Modellierung im Chip-Entwurf. Trash or Treasure“ – Intelligente Layoutverarbeitung. Testen auf der Überholspur – Machine Learning beschleunigt Messdaten-Analyse für ASICs um ein Vielfaches. Skalierbare Ultraschall- und Volumenstrom-Sensorplattform für die Optimierung der Energieeffizienz.Nanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik.  
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  1607. 2020 Jahresbericht | Fachartikel IntelligEnt – Test (en/de)  
2020 Jahresbericht | Fachartikel IntelligEnt – Test (en/de): Testen auf der Überholspur – Machine Learning beschleunigt Messdaten-Analyse für ASICs um ein Vielfaches  
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  1608. 2020 Jahresbericht | Fachartikel IntelligEnt – Modellierung (en/de)  
2020 Jahresbericht | Fachartikel IntelligEnt – Modellierung (en/de): Maschinelles Lernen zur automatisierten Modellierung im Chip-Entwurf  
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  1609. 2020 Jahresbericht | Fachartikel IntelligEnt – Layout (en/de)  
2020 Jahresbericht | Fachartikel IntelligEnt – Layout (en/de): „Trash or Treasure“ – Intelligente Layoutverarbeitung  
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  1610. Annual Report 2020  
Annual Report 2020 ANNUAL REPORT 2020 2 >>Integrated sensor systems Lock-in imager ... 36 Machine Learning ... 43 „Trash or Treasure“ ... 49 >>Distributed measurement + test systems >>Mag6D nm direct drives Testing in the fast lane 55 Sensor platform ... 72 Nano lifting modules ... 84 > Contents * Funding Contents 61 Smart distributed measurement and test systems 3 Foreword 63 Highlights of 2020 in our research on smart 5 Strategic foci distributed measurement and test systems 7 Cooperation with Ilmenau TU 72 Scalable ultrasonic and volume flow sensor 9…  
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