E. Kallenbach,
P. Maißer
J. Lückel
E. Saffert
Ch. Schäffel
H. Freudenberg
W. Kuhlbusch
ASPE, Annual Meeting, Norfolk, Virginia, Proc. P 507-510, Oktober 1997
Dienstleistung MEMS – Simulation, Design und Test: Wir entwickeln als Designhouse für die offene Technologieplattform XMB-10 von X-FAB Beschleunigungssensoren entsprechend Ihrer Spezifikation. Beim Test von MEMS fokussieren wir uns auf die vibrometrische Untersuchung von Sensoren.