Publikationsübersicht –Alireza Nikpourian
The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers
Bernd Hähnlein1. Maria Kellner2. Maximilian Krey3. Alireza Nikpourian2. Jörg Pezoldt4. Steffen Michael2. Hannes Töpfer3. Stefan Krischok1. Katja Tonisch1.Sensors and Actuators A: Physical, Volume 345, 2022, 113784, ISSN 0924-4247, DOI: doi.org/10.1016/j.sna.2022.113784
1FG Technische Physik 1, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3FG Theoretische Elektrotechnik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. 4FG Nanotechnologie, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany.