Stress Controlled Piezoeletric ALN-MEMS-Resonators with Molybdenum Electrodes for GHz Applications

H. Mehner¹. K. Brueckner¹. D. Karolewski². S. Michael². M. A. Hein¹. M. Hoffmann¹.

23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop (MME), 2012, in Proceedings, Session C.06, online: www.tu-ilmenau.de/fileadmin/media/mme2012/Proceedings/Session_C/C06_1642_MME2012_120622.pdf

¹Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano®, University of Technology Ilmenau, Germany. ²IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Fachartikel

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Projekt

PRIMOS

Das IMMS lieferte Beiträge, um Schwingquarze in Mikroprozessoren künftig durch MEMS-Taktgeneratoren ersetzen zu können.

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