Aktuelle Publikation
Manufacturing System for ultraprecision polishing of light curved optical parts
Autorenkollektiv.
Ch. Schäffel2.
Micro Technology and Measurement Techniques and Equipment Eurogress, Aachen, Germany, International Topical Conference on Precision Engineering, 19th May 2003
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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