Hochtemperatur-Wafertest bis 300°C

Marco Reinhard¹. Ulrich Liebold¹. André Richter¹. Ingo Gryl¹.

28. GMM/GI/ITG Workshop – Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen, TuZ 2016, 06.03.2016 - 08.03.2016, Siegen, Germany

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau.

Zugehörige Inhalte

Projekt

Integrierte Sensorik und Mikroelektronik arbeiten bei 300°C und ermöglichen damit effizientere Prozesse