Hochtemperatur-Wafertest bis 300°C

Marco Reinhard¹, Ulrich Liebold¹, André Richter¹, Ingo Gryl¹

28. GMM/GI/ITG Workshop – Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen (TuZ 2016), 06.03.2016 – 08.03.2016, Siegen, Germany

¹IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany

Zugehörige Inhalte

Projekt

Integrierte Sensorik und Mikroelektronik arbeiten bei 300°C und ermöglichen damit effizientere Prozesse