Electrostatic parallel-plate MEMS-Switch on Silicon-Ceramic-Composite-Substrates

Sebastian Gropp¹. Astrid Frank². Christoph Schäffel². Matthias Hoffmann¹.

Microwave Conference (GeMiC), 2015 German , 16-18 March 2015, Page(s) 414 - 417, DOI: dx.doi.org/10.1109/GEMIC.2015.7107841

¹Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Germany. ²IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany.

Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Projekt

MUSIK

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.

Auszeichnung

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

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