Aktuelle Publikation
Electrostatic parallel-plate MEMS-Switch on Silicon-Ceramic-Composite-Substrates
Sebastian Gropp1, Astrid Frank2, Christoph Schäffel2, Martin Hoffmann1
2015 German Microwave Conference, , Nuremberg, Germany, pp. 414-417, DOI: dx.doi.org/10.1109/GEMIC.2015.7107841
1Technical University of Ilmenau, Institute for Micro- and Nanotechnologies (IMN) MacroNano®, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
Zugehörige Inhalte
Projekt
MUSIK
Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.
Auszeichnung