Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1170 Ergebnisse
-
Magnetisch schwebender Direktantrieb zur nm-Positionierung
C. Schäffel1. Rainer Glöß2.Technologiekonferenz, elmug4future, Suhl, 26.06.2012-27.06.20121IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.Vortrag -
Magnetische Direktantriebe mit sub-µm-Genauigkeit Magnetisch schwebende Plattform
F. Spiller1.Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Magnetische Direktantriebe mit sub-µm-Genauigkeit Magnetisch schwebende Plattform
F. Spiller1.Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Magnetische Führung für Flächenmotoren
N. Gorbatenko. S. Kovalev. J. Nikitenko. Ch. Schäffel1. E. Saffert2.42. IWK, TU Ilmenau, September 19971IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Vortrag -
Magnetische Lagerung eines schnelldrehenden scheibenförmigen Läufers - Entwurf und Simulation
St. Michael1. M. Katzschmann1.Magnetische Lagerung eines schnelldrehenden scheibenförmigen Läufers - Entwurf und Simulation, IMMS F&E Report, Ilmenau, Januar 19991IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Magnetlagertechnik
Ch. Schäffel1.MTT 2002, Erfurt, Mai 20021IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Make Some Noise: Energy-Efficient 38 Gbit/s Wide-Range Fully-Configurable Linear Feedback Shift Register
Christoph Wagner1. Georg Gläser2. Thomas Sasse1. Gerald Kell3. Giovanni Del Galdo1,4.2021 16th Conference on PhD Research in Microelectronics and Electronics (PRIME), 2021, Proceedings in: 423 Seiten, 140 x 124 mm, Slimlinebox, CD-Rom, ISBN 978-3-8007-5588-2, E-Book: ISBN 978-3-8007-5589-9, ieeexplore.ieee.org/document/9547997, 19 - 22 July 2021, Erfurt, Germany, online1Technische Universität Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3Technische Hochschule Brandenburg, Germany. 4Fraunhofer IIS, Ilmenau, Germany. -
Manche mögen's heiß - Silicon-on- Insulator- Bauelemente und ihre Besonderheiten
D. Nuernbergk1. M. Lange1. St. Richter2. W. Göttlich3.F&M, April 19991IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau. 3X-FAB AG.Fachartikel -
Manufacturing System for ultraprecision polishing of light curved optical parts
Autorenkollektiv. Ch. Schäffel2.Micro Technology and Measurement Techniques and Equipment Eurogress, Aachen, Germany, International Topical Conference on Precision Engineering, 19th May 20032IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Markt-Trends
W. Sinn1.Ilmenau, F & E Report, Juni 20021IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag