Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1175 Ergebnisse
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Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche
St. Hesse1. C. Schäffel1.DFG Begutachtung, SFB 622 'Nanopositionier- und Nanomesssysteme', Teilprojekt A5, Forschungsziele 2009-2013, 11.02.-12.02.2009, Technische Universität Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Nanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik
Stephan Gorges1.Konstruktion (2021) Nr. 11-12, Sonderteil Antriebstechnik, Seite 36 - 40, www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hubmodule-fuer-die-praezisionsantriebstechnik/1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Nanometer-Positionierung mit 6D-Regelung
Steffen Hesse1.Mikroproduktion, Fachmagazin, Ausgabe 03/2025, Seite 44 - 481IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Nanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100)
Ingo Ortlepp1. Jaqueline Stauffenberg1. Anja Krötschl1. Denis Dontsov2. Jens-Peter Zöllner1. Steffen Hesse3. Christoph Reuter1. Steffen Strehle1. Thomas Fröhlich1. Ivo W. Rangelow1. Eberhard Manske1.In Novel Patterning Technologies 2022 (Vol. 12054, pp. 76-87). SPIE, DOI: doi.org/10.1117/12.26151181Technische Universität Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Nachrüstbares Monitoring – Defekte Straßenlampen clever ausfindig machen
Sören Schneider1. Marco Götze1. Silvia Krug1. Kathrin Veigel2.in elektroniknet.de, 9. Juli 2024, www.elektroniknet.de/smarter-world/defekte-strassenlampen-clever-ausfindig-machen.218803.html1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2elektroniknet.de, Redaktion. -
Multiphysics Modeling of BAW Filters
A. Tag1. V. Chauhan1. R. Weigel1. A. Hagelauer1. B. Bader2. C. Huck2. M. Pitschi2. D. Karolewski3.IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), 21 – 24 Oct. 2015, DOI: dx.doi.org/10.1109/ULTSYM.2015.0115, ISBN: 978-1-4799-8182-3, Taipei, Taiwan1Institute for Electronics Engineering, University of Erlangen-Nuremberg, Cauerstr. 9, 91058 Erlangen, Germany. 2Advanced Development, TDK Corporation, Anzingerstr. 13, 81617 Munich, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. -
Multi-Sensor Systems in Industrie 4.0 Applications, RoMulus – Robuste Multisensorik zur Zustandsüberwachung in Industrie-4.0-Anwendungen
Johannes Eisenmenger1. S. Jäger2. Volker Boos3. Eric Markweg4. A. Frotzscher5. Ralf Sommer6. Gerold Schröpfer7.edaWorkshop 2017, 8-10 May 2017, Dresden1Carl Zeiss SMT GmbH, Germany. 2microsensys GmbH, Germany. 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Germany, Erfurt. 4TETRA GmbH, Germany. 5Fraunhofer IIS, Germany. 6IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 7Conventor. -
Multi-coordinate Drive Systems - Opportunities and Limits
Ch. Schäffel1. E. Saffert2. E. Kallenbach2.int. Heinz Nixdorf, Symposium: On Mechatronics and Advanced Motion Control, Paderborn, Mai 19991IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Vortrag -
MSP/AVR-basierte HW/SW-Plattformen für Drahtlose Sensornetzwerke
S. Engelhardt1. E. Chervakova1. W. Kattanek1. T. Rossbach1.10. Workshop Mikrocontroller-Applikationen/Eingebettete Systeme, Hochschule Mittweida, 14. Mai 2009, Mittweida1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
MSP/AVR-basierte HW/SW-Plattformen für Drahtlose Sensornetzwerke
S. Engelhardt1. E. Chervakova1. W. Kattanek1. T. Rossbach1.10. Workshop Mikrocontroller-Applikationen/Eingebettete Systeme, Hochschule Mittweida, 14. Mai 2009, Mittweida1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag