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Projekt MEMS-Vibro3D

Forschungsinfrastruktur für neue MEMS-Generation: 3D-Vibrometersystem und Breitband-Verstärkersystem.

Dank der EFRE-Förderung konnte das IMMS seine Forschungsinfrastruktur zur vibrometrischen Untersuchung von MEMS erweitern.

Ein neues 3D-Vibrometersystem misst neben den out-of-plane-Schwingungen auch solche in der Ebene und erlaubt dadurch die Charakterisierung von Sensorklassen wie multiaxialen Inertialsensoren.

Das Breitband-Verstärkersystem ermöglicht aufgrund seines Frequenzbandes von 9 bis 250 MHz bei einer Leistung von 200 W die elektrostatische Anregung z.B. von Drucksensoren der aktuellen Generation, die kleinere und dickere Membranen aufweisen und daher verglichen mit Drucksensoren früherer Generationen wesentlich steifer sind.

Akronym / Name:

MEMS-Vibro3D / Einrichtung eines MEMS- 3D-Vibrometer-Messplatzes

Laufzeit:2016

Anwendung:

Forschungseinrichtungen und Ultra-Präzisionsmaschinenbau|Verifikation von MEMS-Modellen| Methoden zur Qualitätssicherung von MEMS

Forschungsfeld:Integrierte Sensorsysteme

Partner


    Kontakt

    Kontakt

    Dr.-Ing. Frank Spiller

    Kommissarischer Leiter Mechatronik

    frank.spiller(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 61

    Dr. Frank Spiller gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.


    Förderung

    Das vom Freistaat Thüringen geförderte Vorhaben wurde durch Mittel der Europäischen Union im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) als Maßnahme zur forschungsbezogenen Geräteinfrastruktur unter dem Förderkennzeichen 2015 FGI 0010 kofinanziert.


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    Über uns

    Ausstattung

    Wir nutzen den neuesten Stand der Technik für unsere F&E-Arbeiten. Unter anderem erweitern wir permanent unsere technische Labor- und Geräteinfrastruktur, um im internationalen wissenschaftlichen Wettbewerbsumfeld konkurrenzfähig bleiben zu können.

    Dienstleistung

    MEMS – Simulation, Design und Test

    Wir entwickeln als Designhouse für die offene Technologieplattform XMB-10 von X-FAB Beschleunigungssensoren entsprechend Ihrer Spezifikation. Beim Test von MEMS fokussieren wir uns auf die vibrometrische Untersuchung von Sensoren.

    Dienstleistung

    Test und Charakterisierung

    Wir testen, charakterisieren und qualifizieren Ihre Schaltkreise, Sensoren und Systeme. Auf Basis unseres exzellenten Messgerätepools entwickeln wir eine individuell angepasste Testumgebung für Messungen an Wafern und Einzelbauelementen.

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