Das MEMS-T-Lab bietet die Voraussetzungen, MEMS parametrisch zu modellieren und bezüglich ihrer systemrelevanten mechanischen Parameter messtechnisch auf Basis von Deformations- und Frequenzmessungen zu charakterisieren:

• Mess-System zur Erfassung der Topographie von MEMS-Bauelementen auf Waferlevel mit einem Interface zu einem halbautomatischen Waferprober;
• Softwaresystem zur Modellierung der mechanischen Eigenschaften von MEMS-Systemen als Basis für eine Identifikation funktionsrelevanter Geometrie- und Materialparameter der MEMS;
• halbautomatischer Waferprober für die schnelle und exakte Kontaktierung integrierter Schaltungen bereits im Waferverbund zur Untersuchung der Eigenschaften in licht- und EMV-geschützter Umgebung im Temperaturbereich von -50 °C bis 200 °C;
• modulare Testplattform für die elektrische Stimulierung und Messung der Parameter von integrierten Schaltungen, Modulen und Systemen und für die Erforschung flexibler und leistungsfähiger Testsystemarchitekturen mit effizienten Hardwarebaugruppen.

Die Technik unterstützt mit Modellierungstools, Messtechnik und Laborausrüstung eine hohe Komplexität teilautomatisierter Messungen für komplette Wafer.

Waferprober und Testplattform bilden eine funktionelle Einheit bei Untersuchungen zur Technologie- und Designoptimierung, zur Bewertung von Qualität und Zuverlässigkeit integrierter Schaltungen und Sensorsysteme sowie zur Erforschung neuer und schneller Testmethoden.