Aktuelle Publikation
Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm
Jaqueline Stauffenberg1, Christoph Reuter2, Ingo Ortlepp1, Mathias Holz3, Denis Dontsov4, Christoph Schäffel5, Jens-Peter Zöllner6, Ivo W. Rangelow7, Steffen Strehle2, Eberhard Manske1
Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 Feb 2021), DOI: doi.org/10.1117/12.2583703
1Technische Universität Ilmenau, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 3nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 4SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 6Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute for Micro- and Nanoelectronics, Micro- and Nanoelectronic Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 7Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung