Aktuelle Publikation
Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm
Jaqueline Stauffenberg1.
Christoph Reuter1.
Ingo Ortlepp1.
Mathias Holz2.
Denis Dontsov3.
Christoph Schäffel4.
Jens-Peter Zöllner1.
Ivo Rangelow1.
Steffen Strehle1.
Eberhard Manske1.
Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 February 2021); DOI: doi.org/10.1117/12.2583703
1Technische Universität Ilmenau, Germany.
2nano analytik GmbH, Germany.
3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.
4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung