TuZ 2023
Messumgebung für Lebensdauertests basierend auf dem Konzept der universellen Test-Chips (UTC)
Björn Bieske [1], Pierre Wenke [2], Martin Jäger [3], Ingo Gryl [1], Xiao Liu [2], Jörg Steinecke [2]
[1] IMMS Institut für Mikroelektronik- und MechatronikSysteme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)
[2] X-FAB Semiconductor Foundries GmbH
[3] X-FAB Global Services GmbH
Abstract:
Es wird eine weiterentwickelte Messumgebung vorgestellt, die speziell für Lebensdaueruntersuchungen ausgelegt ist. Als Grundlage dient das Konzept eines universellen Testchips, der bei einheitlichen Anschlüssen verschiedenste Funktionsblöcke beinhalten kann. Die bidirektionale Ansteuerung der Testobjekte erfolgt über ein serielles Interface. Der Testaufbau ist modular und der Anzahl der Testobjekte entsprechend skalierbar. So werden Langzeituntersuchungen ermöglicht, die als digitale und analoge Messungen parallel durchgeführt werden können. Damit können gezieltere individuelle Stress-Tests bei hohen Temperaturen appliziert werden, um so eine verbesserte Analyse von Ausfallursachen durchzuführen. Die Entwicklung der Messumgebung und ausgewählte Applikationen werden vorgestellt.
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