TuZ 2022
Messumgebung zur mixed-signal Echtzeit-Parametererfassung bei Lebensdauertests
Michael Meister(IMMS), Björn Bieske (IMMS), Ingo Gryl (IMMS), Dagmar Kirsten (X-FAB Global Services GmbH)
Mit der vorgestellten Messtechnik können Bauelemente individuell gestresst und deren Zustände während der gesamten Test-Phase über ein kontinuierliches Monitoring dokumentiert werden. Ausfallursachen lassen sich so besser und gezielter analysieren. Charakterisierung und Vermarktung von Halbleiter-Schaltkreisen und deren technologischer Herstellungsprozesse können mit der neuen Umgebung verbessert werden.
Die Messumgebung wurde für HTOL-Untersuchungen (High-Temperature Operating Life Test) zu Zuverlässigkeit und Lebensdauer entwickelt. Sie ist modular und ermöglicht zeit- oder zyklusbasierte Tests bei bis zu 175 °C an bis zu 128 Bauelementen gleichzeitig. Dabei werden diese nicht parallel mit identischen Pattern angesteuert, sondern ein individueller Testablauf für jedes einzelne Bauelement generiert, bei dem digitale und analoge Parameter fortlaufend beobachtet werden können.
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