Veranstaltung, 29.11.2023
euspen SIG: Micro/Nano Manufacturing 2023
euspen Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing 2023
Veranstaltung, 06.11.2023
MetroAgriFor 2023
2023 International IEEE Workshop on Metrology for Agriculture and Forestry, Pisa, Italy
Pressemitteilung, 04.09.2023
Silicon Science Award geht an Nachwuchsforscher von IMMS und TU Ilmenau
Arbeit zu zeitkorrelierter Einzelphotonenzählung für Messungen im Pikosekundenbereich ausgezeichnet
Neue Projekte

Projekt
ProQuaOpt
Das IMMS entwickelt eine KI-basierte Regelung zur Online-Optimierung von Spritzgießprozessen hinsichtlich der Ressourceneffizienz.

Projekt
NFM-100
Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.

Projekt
SensInt
Das IMMS entwickelt einen CMOS-Bildsensor zur zeitaufgelösten Fluoreszenzdetektion für die direkte Integration in mikrofluidische Kartuschen mittels 3D-Siebdruck.
Neue Publikationen

Fachartikel in Zeitschriften,
Validierung KI-basierter Simulationsmethoden im Chip-Entwurf, Testbench in Hardware

Vortrag und Posterpräsentation,
Unconventional, lateral measurements with laser focus sensors for nanopositioning stages

Begutachtete Veröffentlichung,