Pressemitteilung, 04.09.2023
Silicon Science Award geht an Nachwuchsforscher von IMMS und TU Ilmenau
Arbeit zu zeitkorrelierter Einzelphotonenzählung für Messungen im Pikosekundenbereich ausgezeichnet
Neue Projekte

Projekt
NFM-100
Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.

Projekt
SensInt
Das IMMS entwickelt einen CMOS-Bildsensor zur zeitaufgelösten Fluoreszenzdetektion für die direkte Integration in mikrofluidische Kartuschen mittels 3D-Siebdruck.

Projekt
InSignA: Pilotprojekt 1
Das IMMS erhebt mikroklimatische Daten, über einen Gebäudekomplex verteilt, am Campus der TU Ilmenau für Energieverbrauchsoptimierungen.
Neue Publikationen

Vortrag und Posterpräsentation,
Artificially Intelligent EDA

Vortrag und Posterpräsentation,
Vibrometry in the Field of MEMS – Application Examples from Stress to Quality Factor Identification

Vortrag und Posterpräsentation,