Veranstaltung, 22.03.2023
IID 2023
Industrie-Innovationsdialog: Neue Pfade in der Mikroelektronik – Diversifizierung für mehr Resilienz
Pressemitteilung, 20.12.2022
Praktika, HiWi-Jobs, Bachelor- und Master-Arbeiten
Studentinnen und -Studenten geben in einem Video einen Überblick über ihre Arbeiten am IMMS
Neue Projekte

Projekt
NFM-100
Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.

Projekt
SensInt
Das IMMS entwickelt einen CMOS-Bildsensor zur zeitaufgelösten Fluoreszenzdetektion für die direkte Integration in mikrofluidische Kartuschen mittels 3D-Siebdruck.

Projekt
InSignA: Pilotprojekt 1
Das IMMS erhebt mikroklimatische Daten, über einen Gebäudekomplex verteilt, am Campus der TU Ilmenau für Energieverbrauchsoptimierungen.
Neue Publikationen

Begutachtete Veröffentlichung,
Towards Deploying DNN Models on Edge for Predictive Maintenance Applications

Vortrag und Posterpräsentation,
Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup

Vortrag und Posterpräsentation,