Dr. Denis Dontsov, SIOS Meßtechnik GmbH

„Mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1 verfügt die SIOS Meßtechnik GmbH über ein System, welches Objekte in 3D mit einer Messauflösung von 0,1 nm in einem Messbereich von 25 x 25 x 5 mm3 vermessen kann. Verschiedene Betriebsarten erlauben eine dynamische Objektpositionierung oder Messungen mit kontinuierlichem Scan- oder Schrittmodus. Ausgestattet mit verschiedenen Antastsystemen können vielfältige anspruchsvolle kundenspezifische Aufgaben bearbeitet werden. Dies sind z.B. die Messung von Präzisionsteilen wie Mikro­linsen, Membranen oder Härteeindringkörper, die Positionierung, Manipulation, Bearbeitung und Messung von Objekten der Mikroelektronik, Mikromechanik, Optik, Molekularbiologie und Mikrosystemtechnik.

Für künftige Anwendungen, die deutlich größere Arbeitsbereiche erfordern, haben wir im Projekt INPOS auf die Expertise des IMMS im Bereich der Nanoantriebe gesetzt und konnten dort an eine mehr als zehnjährige sehr gute Zusammenarbeit anknüpfen. Gemeinsam mit der TU Ilmenau haben wir einen neuartigen luftgeführten sechsdimensionalen Direktantrieb entwickelt, der Objekte im Raum in einem lateralen Verfahrbereich von 100 mm Durchmesser über eine Höhe von bis zu 10 mm mit Nanometer-Präzision bewegen kann. Das IMMS hat hierfür das Planarmotorsystem mit den Hub- und Antriebseinheiten sowie die Steuerung und Regelung entwickelt. Zudem haben wir Hand in Hand an der Systemarchitektur und dem Gesamtkonzept sowie an der konstruktiven Integration, dem Aufbau, der Inbetriebnahme und Charakterisierung gearbeitet. Mit dem Ergebnis sind wir äußerst zufrieden: Die erreichten Positionierresultate zeigen ein hohes Potential für unsere künftigen kundenspezifischen Problemstellungen und auch für neuartige Nanopositioniersysteme von SIOS mit deutlich vergrößertem Messbereich. Einen wesentlichen Vorteil gegenüber marktüblichen Lösungen sehen wir im konsequenten Einsatz von quasi reibungsfreien Führungen für alle Bewegungsachsen bei gleichzeitiger Integration einer pneumatischen Gewichtskraftkompensation, durch welche die entstehende Verlustleistung zum Tragen des Messobjektes stets nahe Null geregelt wird.

Die fachlichen Kompetenzen am IMMS, ein äußerst hoher Qualitätsanspruch und die Ergebnisse sprechen für sich. Wir schätzen aber auch die systematische und zielorientierte Arbeitsweise der IMMS-Kollegen und nicht zuletzt die sehr kommunikative und unkomplizierte Art der Kooperation. Wir möchten auch künftig eng zusammenarbeiten, um Lösungsansätze in Produkte der SIOS GmbH einfließen zu lassen.“