Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.
K. Gastinger,
M. Kujawinska
U. Zeitner
C. Gorecki
Dr. Ch. Schäffel
S. Beer
R. Moosburger
M. Pizzi
Photonics Europe 2010, 12.04-16.04.2010, Brüssel, Belgien
M. Meister,
B. Bieske
ISCE 2006 - The Tenth IEEE International Symposium on Consumer Electronics, 29.06.-01.07.2006, St. Petersburg (Russland), ISBN: 1-4244-0216-6
M. Meister,
B. Bieske
ISCE 2006 - The Tenth IEEE International Symposium on Consumer Electronics, 29.06.-01.07.2006, St. Petersburg (Russland). ISBN: 1-4244-0216-6